中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9266218 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372Mは、ウェットプロセス領域と研磨領域の機能を1つのシステムに組み合わせるために設計された、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このユニットは、シリコンからいくつかの異なる厚さにウェーハを研削するために設計されており、ラッピングと研磨が続きます。モジュラーコンポーネントにより、機械内のウェーハサイズを変更するための柔軟性を提供します。このツールは自動ローダーで構成され、研削工具へのウェーハの積み込みを正確に制御します。次に、スピンドルと呼ばれる機械装置を使用して、ウェーハを回転させて研削します。研削は、スピンドルに供給される研磨スラリーによって達成されます。スラリーの研磨粒子は、ウェーハから不要な材料を研磨して取り除きます。研削後のラッピング手順は以下の通りです。このステップでは、再循環アセットを使用したダイヤモンドラッピングプレートを使用して、ウェーハ上の均一で制御されたラッピングアクションを提供します。最後に、研磨プロセスが行われます。これは、薄くする、コーティングするなどのさらなる処理手順のためにウェーハの表面が用意されている場所です。ウェハ研削、ラッピング、研磨モデルには、いくつかの安全機能が装備されています。スピンドルは、スピンドル回転の空気圧クッションによって、偶発的な過負荷や衝突から保護されます。また、常に正しいプロセスパラメータが維持されるように監視された電気機器もあります。これにより、完成したウェーハの一貫性のある品質が保証されます。IPEC 372Mシステムは、すべての研削、ラッピング、研磨パラメータを簡単に制御できるユーザーフレンドリーなインターフェイスを介して制御されます。ユニットはまた、プロセスを監視し、オペレータの要件に基づいて結果を作成することができます。さらに、1回の操作で最大12インチのウエハサイズを処理でき、最大速度は40,000 rpmです。全体として、WESTECH 372Mは最新の技術で設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、最新のウェーハ加工プロセスに高い精度と柔軟性を提供します。精密な仕上げで高性能な結果を得るための信頼性と費用対効果の高い方法です。