中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191766 を販売中

ID: 9191766
ウェーハサイズ: 8"
STI Oxice CMP system, 8" Currently installed.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372Mは、ハイスループットおよび精密アプリケーション向けに設計された強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。堅牢で信頼性の高い設計で、自動ダイヤモンドドレッサーや自動プロセス制御システムなど、いくつかの高度な機能が組み込まれています。IPEC 372M機には、可変スピンドル速度と可変ダイヤモンドホイール回転が付属しており、ウェハ研削および研磨作業を正確に制御できます。機械は手動または自動モードで作動させることができ、容易な組み立ておよび操作のための直観的なHMIがあります。統合された自動ダイヤモンドドレッサーは必要に応じて砥石をドレッシングすることができます。自動プロセス制御システムは、システムを継続的に監視および調整し、正確かつ一貫した結果を可能にします。ウエハ研削ヘッドは最大送り速度が2000mm/minで、薄膜層と表面形状を高再現性で研削するために設計されています。ストロークリミットストップが調節可能で、レイヤーのオーバーグラインドまたはアンダーグラインドを防止します。統合されたウエファーの磨く頭部は4000mm/minの最高の磨く率があり、端の丸めおよび表面の仕上げにとって理想的です。また、同様の薄い層での鏡面研磨にも使用できます。ウェーハ研磨・研磨に加え、ラッピング作業にもWESTECH 372M機を使用できます。回転テーブルと調整可能な停止により、精密なラップ深さ制御が可能です。また、高い切断精度と再現性を実現する機械式ドライブも付属しています。堅牢な設計と包括的な機能により、372Mは過酷な生産環境に耐えることができ、半導体製造、ウェハバック研削、およびその他の高精度業界の操作などの用途に特に適しています。
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