中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #293750181 を販売中

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M
ID: 293750181
Systems WSI Chamber.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372Mウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハの精密研削、ラッピング、研磨のために設計された高性能、自動化されたシステムです。高速・高品質・再現性に優れ、正確な加工が可能です。IPEC 372Mは多軸設計を採用し、高耐久性を実現する理想的な研磨・研磨運動を実現しています。動きは標準的な適用のために形成されるか、または特別な適用のためにカスタマイズすることができます。精密空気軸受の紡錘は滑らかな、厳密な動きを提供し、デジタルコントローラーによって支えられます。紡錘の回転速度は10から4000のrpmに調節可能です。この機械には、効率的にウェーハをチャックに固定するためのウェーハクランプツールが含まれています。オプションのインデックス作成メカニズムを使用して、チャックを特定の位置にインデックス化することで、正確で再現性のある処理が可能になります。アセットに使用される潤滑油は、ウェーハの汚染を防ぐために水ベースで環境に優しいです。潤滑剤をろ過し、精密なプロセス制御を提供するために必要なろ過モデルが採用されています。また、この機器は遠隔監視機能を備えており、ユーザーはリモートでプロセスを監視および調整できます。WESTECH 372Mは、最小限のクリーンアップが必要で、最小限のトレーニングで操作が簡単です。また、高速運転、特殊ブレードジオメトリ、産業用エアクリーニングシステム、より細かい研磨媒体など、周辺機器のオプションも多数用意されています。SPEEDFAM 372Mは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための堅牢で効率的で正確なソリューションです。これは、最も要求の厳しいウェーハ処理ニーズを満たすように設計されており、幅広い処理要件に適しています。高速、高精度、再現性を備えた372Mは、正確な結果を得るための理想的な単位です。
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