中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 327M #293667964 を販売中
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IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 327Mは、ラインウェーハ研削、ラッピング、研磨装置のトップです。ウェーハなどの微細部品の精密研削・微細加工に使用されます。このシステムは、平坦度、表面粗さ、および低角度の側壁仕上げの非常に高いレベルのサーフェスを生成するように設計されています。IPEC 327Mは、単結晶シリコン、酸化アルミニウム、セラミックスなど、優れた精度とスピードでさまざまな材料の加工に優れています。WESTECH 327Mは、独自の技術の組み合わせを利用して、滑らかで欠陥のない材料表面を生成します。まず、研削および研磨圧力を測定するための光学シャフトエンコーダを備えており、正確な材料除去プロセスを保証します。パワフルなサーボモータが駆動源となり、最大3000RPMの研磨/研磨ディスクの回転を可能にします。ディスクマウントマシンは、様々な研削・研磨パッドを容易に交換することができ、幅広い材料加工オプションを可能にします。さらに、このツールには調整可能なダイヤモンド圧力スプリングとフィンガークランプアセットがあり、材料表面の粉砕力と研磨力を正確に制御できます。精密クランプとキャリアプレートのモデルは、動作中の振動や動きを伴わないタングステンカーバイド放射面上のウェーハの安全なクランプを提供します。この装置には、4つの異なる構成の精密ラッピング/ポリッシングヘッドも装備されています。これにより、研磨性の高い表面処理と精密仕上げ加工の両方が可能になり、優れた結果が得られます。SPEEDFAM 327Mは安全で信頼できる操作のために設計されています。緊急停止機能を備えた機内安全システムを搭載し、運転中の潜在的な危険からユーザーを保護します。また、ユーザーがリアルタイムで研削および研磨圧力を監視することができるフィードバックマシンを備えています。これにより、一貫した均一な表面仕上げを維持しながら、最適なオペレータの安全性を確保します。327Mは均一な表面の終わりの精密で、反復可能な結果を捜すそれらのための優秀な選択です。スピード、パワー、精度の優れた組み合わせにより、繊細な部品の研削、ラッピング、研磨に理想的なツールです。
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