中古 IPEC 472 #9144775 を販売中

IPEC 472
ID: 9144775
ウェーハサイズ: 6"
CMP Polisher, 6".
IPEC 472は、半導体デバイス部品の高精度な加工を可能にするように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、光学レベルのアプリケーション向けに設計されたサーフェスを含む均一なサーフェスを製造することができ、幅広い材料で高いスループットを発揮します。472は、IPECアクセラレータワークステーションを使用して構築されています。これは、クローズドループ制御とフィードバックを統合した独自のクローズドループ研削および研磨技術です。コンパクトグラインドポリッシュロボットを内蔵しており、ウェハ材料サンプルをグラインドポリッシュステーション上に自動的に移動させます。ステーショナリーグラインドポリッシュホイールは、高いトルクステータと異なる材料特性や用途の目標に合わせて調整できる惑星シャーシを備えています。デジタルモータドライブマシンは、一貫した結果を保証するために研削および研磨プロセスを制御します。このドライブは可変速度で動作するため、オペレータは特定のアプリケーションのプロセスを調整することができます。オンボードコンピュータは、研削速度、研磨速度、ホイール圧力などのプロセスパラメータのリアルタイム監視とデータロギングを提供します。サンプル実行ごとにプロセスパラメータとデータロギングを調整できます。このツールは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなどのウエハ材料と互換性があります。IPEC 472は、ダイヤモンド、溶融シリカ、金属などの様々な材料を扱うためにも装備されています。各アプリケーションに最適な結果を保証するために、さまざまな研削および研磨アクセサリーが利用可能です。472は堅牢で自動化された資産で、高精度な処理能力と一貫した結果を提供します。このモデルは、厳しい公差と滑らかで均一な表面を達成することができ、半導体デバイス製造アプリケーションの範囲で使用することができます。
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