中古 IPEC 472 #293819396 を販売中
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IPEC 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、直径8。0インチまでのシリコンウェーハの研削、ラッピング、研磨のための専用システムです。このユニットは、最新の半導体生産ラインのウェーハ処理要件に完全なソリューションを提供するように設計されています。研削/ラッピングヘッド、ラッピングテーブル、研磨ヘッド、ウェーハムーブメントマシンで構成されています。研削/ラッピングヘッドは、最高速度4,000rpmの2軸高精度可変スピンドルです。ウェーハを目的のプロファイルに研削してラップするために使用されます。ラッピングテーブルは、ユーザーが任意の方向にウェーハを移動することを可能にする高精度、閉じたループ、サーボ制御テーブルです。また、均一なラッピング圧力のための可変リリースツールも備えています。研磨ヘッドは、最高速度4,000rpmの2軸高精度可変スピンドルです。これは、ウェーハ上に完全に平らな表面を提供するために使用されます。ウェーハムーブメントアセットは、クローズドループ、真空密封モデルであり、ウェーハの位置を正確に制御します。これにより、研削、ラッピング、研磨プロセスが高い精度と再現性で処理されます。472はそのパフォーマンスと柔軟性を高めるための多くの機能を提供しています。これらには、クローズドループの荷受人レベルのフィードバック、リアルタイムのプロセス監視、およびローカライズされた材料輸送システムが含まれます。要するに、IPEC 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体生産ラインの最新のウェーハ加工要件に最適です。高精度のコンポーネント、クローズドループのサーボ制御、使いやすさにより、時間を節約し、正確で繰り返し可能なプロセスに最適なソリューションです。
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