中古 HOFFMAN PR-1 66T #9234491 を販売中
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販売された
ID: 9234491
Lappers
(5) Carriers
Part circle: 5"
Root diameter: 5.3"
Top plate:
Part number / Material
ME135 / Aluminum
ME136 / Aluminum
ME137 / Aluminum
Bottom plate:
Part number / Material
ME135 / Cast Iron
ME136 / Cast Iron
ME137 / Cast Iron
Center ring:
Part number / Size
ME135 / 5"
ME136 / 5"
ME137 / 5"
Outer ring:
Part number / Size
ME135 / 16"
ME136 / 16"
ME137 / 16"
Top plate:
Part number / Size
ME135 / 14"
ME136 / 15 1/2"
ME137 / 15 1/2".
HOFFMAN PR-1 66Tは、ウェーハ加工のための最高レベルの精度と精度を達成するように設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ユーザーが最も要求の厳しいウエハラッピングと研磨タスクを完了できるようにするためのさまざまな機能と機能を提供しています。単位は4つの相互接続された部品が装備されているステンレス鋼ハウジングおよび基盤と組み立てられます-粉砕の場所、磨く場所、ラッピングステーションおよびプロセス部屋。研削ステーションは、50 µm以下の厚さまでウェーハを研削できる高精度スピンドルモータを採用しています。さらに、ステーションには、マイクロメートル駆動のローディングおよびアンロード機構、およびモーター付き重力供給機、およびウェーハを固定する固定ゴムマットが装備されています。研磨ステーションには、安定した低振動・低ノイズ加工が可能な高トルク研磨モータを搭載しています。また、処理の合間に研磨媒体を洗浄・洗浄する自動洗浄ツールも搭載しています。ラッピングステーションには、超精密モーターとターンテーブル、およびラッピングパラメータを調整するための自動制御が含まれています。また、ベルトクリーニングアセットとスラリーモデルを内蔵しており、マニュアルラッピングとクリーニングの必要性を低減します。プロセスチャンバーには、プロセスの正確な制御と高品質のプロセス結果を保証する独自の技術が装備されています。振動や騒音が少ない温度制御環境です。また、加工中の不活性ガスの使用を容易にするために密封されています。結論として、HOFFMAN PR-1-66Tは汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、ユーザーにすべてのウェーハ処理タスクに対して最高の精度と精度を提供するように設計されています。このシステムは、耐久性のあるステンレススチールフレームと、さまざまな高度な機能を備えた4つの相互接続コンポーネントで構成されています。これらの部品はすべて安定した低振動、低ノイズのプロセスを提供するように設計されており、ウェーハ処理のための最も正確で正確な結果を生み出すことができます。
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