中古 HOFFMAN PR-1 66T #9095930 を販売中
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HOFFMAN PR-1 66Tは、優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、挑戦的な基板やパターンでも優れた結果を提供します。このシステムは、大型のCCDビジョンベースの制御ステーション、2つの機械的粉砕ステージ、2つの機械的ラッピングステージ、2つの圧縮空気駆動研磨ステーションで構成されています。CCDビジョンステーションには、効果的な画像認識ユニットが含まれており、新しいウェーハごとに機械の動きとパターン決定を自動的に制御します。画像認識アルゴリズムは、ウェーハの前面と背面の両方に異なるパターンと向きを検出し、目的のパターンに沿って正確な研磨と研磨を行うことができます。2つの機械的研削工程は、高い再現性と耐久性を提供するように設計されており、高精度の表面処理のためのダイヤモンド研削ホイールが装備されています。パターン認識機を研削工程に組み込んで精度を高めています。粉砕機は速く、有効な粉砕のために置くことができ最適化された破片の取り外しのためにおよび望ましい粗さおよび表面の終わりを達成するために設計されています。研削工程は、直径200mmまでのウェハ加工が可能です。HOFFMAN PR-1-66Tの2つのメカニカルラッピングステージは、可能な限り最高の表面仕上げを実現するように設計されています。ラッピングは、表面欠陥の迅速な除去と個々のウェーハ表面の正確な制御を可能にする新しいプロセスを使用して行われます。ラッピングステージは、直径200mmまでのウェーハに対応できます。PR-1/ 66Tの2つの圧縮空気駆動研磨ステーションは、ウェーハ表面の鏡面仕上げのために設計されています。研磨スラリーと空気を組み合わせて研磨し、高精度で均一な表面仕上げを実現します。研磨ステーションは、直径200mmまでのウェーハを処理できます。革新的な設計と高度な技術により、HOFFMAN PR-1/ 66Tは、ウェーハの正確で費用対効果の高い研削、ラッピング、研磨に最適なツールです。高精度・高生産性を兼ね備えた信頼性と堅牢性を兼ね備えた資産です。
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