中古 HEAVY SMOKER HVS-100 #293590870 を販売中

HEAVY SMOKER HVS-100は、直径100mmまでの半導体ウェーハを精密に研磨するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体製造や電子デバイス製造などの用途に最適な、サブミクロンとナノメートルの精度で極めて平坦な表面仕上げを実現するために、2つの表面を研削・ラッピングして動作します。研削、ラッピング、研磨プロセスは、ウエハが最適な平坦性と表面プロファイルを得るための事前研削を受けることから始まります。これは、スピンドル速度と研削圧力を調整可能な自動ダイヤモンド研削ユニットを使用して達成されます。回転ダイヤモンド研削ホイールは一般的に使用され、幅広い研削、ラッピング、研磨能力を提供することができます。表面が所望の平坦度に接地されると、ラッピングと研磨に移動する時間です。これは、精密ラッピングプレートとダイヤモンド研磨含浸ラップを使用して、表面の凹凸を低減し、ウェーハ表面を滑らかにすることによって実現されます。ラッピングおよび研磨時間は、アプリケーションの表面仕上げのアライメント要件によって異なります。最適な結果を得るために、さまざまなサブミクロンダイヤモンド研磨剤をプロセス全体で使用できます。HVS-100には、自動化された研磨プロセスを可能にするプログラム可能な制御機も含まれています。これには、加工レシピの設定、スピンドル速度の制御、圧力と研磨時間が含まれます。これにより、一貫したプロセスと最適な平坦性と表面仕上げのアライメントが得られます。このオールインワンツールは、高精度のアプリケーションと超薄型ウェーハ研磨ニーズに優れた結果を提供するように設計されています。HEAVY SMOKER HVS-100は、必要最小限の手動介入で迅速かつ信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨を提供します。このアセットは、半導体製造、基板製造、その他多くの精密アプリケーションに最適です。