中古 HARIG 612 #9390527 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9390527
ヴィンテージ: 1998
Surface grinder
Chuck size: 6" x 12"
Longitudinal travel: 12 - 3/4"
Cross travel: 6 - 3/4"
Grinding wheel diameter: 8" (Maximum)
Wheel width: 1/2"
Hole size: 1-1/4"
Vertical working height: 12" (Maximum)
Handwheel graduations: 0.0005"
Downfeed: 0.0001"
Cross: 0.001"
Spindle power: 1.5 HP
Fine down feed handwheel
WALKER CERMAX Perm-mag chuck
Auto-lubrication
E-Stop
Adjustable work light
Wheel puller
Manuals
1998 vintage.
HARIG 612は表面平坦、厚さの変化および表面、コーナーおよび端の質の磨くために設計されているウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。半導体業界向けに精密仕上げウエハを製造するために特別に設計されたオールインワンウェーハ仕上げシステムです。612単位は2つの主要な部品を含んでいます:精密ウェーハの粉砕機および回転式磨く腕の付属品。ウェーハグラインダーは、電動スピンドルベースと直径12インチのプラテンで構成され、デジタル制御機に接続された頑丈な精密スピンドルモータによって駆動されます。プラテンの表面はプロセス制御のために調節可能であり、フィルター紙の多数の層は粒子が周囲の環境を汚染することから保ちます。また、研削盤にはエアフィルターと排気ファンが内蔵されており、研削工程で発生する加熱空気を排出します。ロータリー研磨アームは、ウェーハの深さを制御するための精密光学系で構築されており、研磨速度を調整するための帯電防止ダイヤルが含まれています。アームは、ラップと研削のための600グリットダイヤモンドホイールを搭載しており、最大300 rpmの回転速度で動作します。ダイヤモンドホイールは、粉砕チャンバーにほこりが入らないように密閉されています。アームには、ウェーハの表面から研磨粒子を吸い取るための真空、ウェーハの厚さと表面パターンを確認するための発光ダイオードも取り付けられています。薄い均一な研削とラッピング層を達成すると、ウエハは研磨の準備ができています。HARIG 612は、圧縮空気、コロイダルシリカ、脱イオン水を組み合わせた柔らかい研磨工具を使用し、正確な仕上げを実現しています。柔らかい研磨アセットは、低圧空気、コロイドシリカ、脱イオン水の組み合わせを使用して、大きくて表面に到達することが困難な研磨します。内蔵のエアフィルターと排気モデルは、研磨プロセスによって生成された加熱空気を排出することによって環境を保護するのにも役立ちます。最後に、マシンにスピンコーターを追加することで、研磨プロセスをさらに改善することができます。スピンコーターは、ウェーハ上の研磨材を均一にカバーし、一貫性と研磨の均一性を高めます。612の装置は速く、信頼でき、一貫した方法をウェーハを終わり、一流の品質管理を保証する提供します。この機械は汎用性が高く、ユーザーフレンドリーで操作しやすく、ほこりや粒子のない作業環境に高水準の清潔さを提供します。
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