中古 HAMAI 9BF #9166541 を販売中

ID: 9166541
ヴィンテージ: 1998
Polisher Surface plate: φ700 1998 vintage.
HAMAI 9BFは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この精密で効率的なシステムは、高品質の仕上がり、研磨精度、コスト削減という両方の世界のベストを兼ね備えています。9BFは、ロボットローダー、研削/ラッピング/研磨(GLP)モジュール、ベルトドライバ、石トレイ、スラリーサーキュレーターで構成される完全自動化されたユニットです。ロボットローダーは、正確な研削/ラッピング/研磨モジュールにウェーハを正確に組み立てて供給します。GLPモジュールは、高速ダイヤモンド研磨ベルトを使用して、ウェーハをすばやく正確に研磨、ラップ、研磨します。GLPモジュールによって生成される微粒子は、閉じたスラリー循環器を使用して収集され、ベルト上の残骸から濾過されます。石を駆動する循環気圧は、再ラップが始まる前に破片が完全に除去されることを保証します。ロボットローダーは、できるだけ短時間で最大500ウェーハをロードすることができます。特別なドライブマシンは、ウェーハサイズや形状が異なる場合でも、ロボットローダーが正確であることを保証します。特別な駆動比はまた、騒音と振動を最小限に抑え、研削/ラッピング/研磨プロセスをより効率的かつ静かにします。ベルトドライバは、GLPモジュールが一貫して正確に動作することを保証します。石のトレイは、研削、ラッピング、研磨の長い一日の後でも完璧な形を保つために研磨/ラッピング/切断石のための完璧な環境を提供します。HAMAI 9BFの大容量の流量は、スラリー循環器が研削、ラッピング、研磨後に残されたすべての残骸と粒子を確実に収集することを保証します。全体として、9BFはあらゆるサイズや形状のウェーハを効率的に研磨するための理想的なツールです。ロボットローダー、GLPモジュール、ベルトドライバー、ストーントレイ、スラリーサーキュレーター、レビューアセットを組み合わせることで、精度とスピードの両方でウェーハを磨くことができ、従来の研削、ラッピング、研磨技術よりもコストを節約できます。
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