中古 HAMAI 9BF #9166351 を販売中

HAMAI 9BFは、集積回路、DRAM、マイクロプロセッサなどの半導体デバイスの製造に使用される精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ウェーハ、アルミナ、シリコン、石英、金属などの基板を正確に処理するように設計されています。9BFユニットは、研削ステーション、ラッピングステーション、研磨ステーション、制御機械など、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。研削ステーションは、ウェーハの厚さと平坦性を低減するために使用されます。これは、キャリアプレートにウェハを取り付け、特定のサイズに調整された研削ホイールを使用することによって行われます。ラッピングステーションは、ウェーハの直径を減らし、表面の凹凸を除去することができます。この効果を達成するために、スラリー粒子と回転プレート研磨剤の組み合わせが使用されます。研磨ステーションは、研磨媒体と回転ウェハキャリアプレートを組み合わせて表面粒子を除去し、均一で光沢のある表面を作成します。HAMAI 9BFツールの主な特徴は、9インチのウェーハ処理能力と研削およびラッピングプロセスの完全なデジタル制御です。アセットは、調整可能な研削とラッピング速度を備えており、さまざまな種類のウエハ基板の正確な結果を得ることができます。さらに、このモデルは温度やpHなどのさまざまな化学パラメータを提供し、異なるラッピングソリューションの調整を可能にします。9BF装置には、研削、ラッピング、研磨プロセス中のウェーハの損傷を防ぐための安全システムが内蔵されています。このユニットには、ウェーハの動き、温度、湿度センサーなど、必要な安全パラメータを確実に満たすために必要なすべてのセンサーが含まれています。機械の寿命と精度を最大化するために、定期的なメンテナンスルーチンに従う必要があります。研削ホイール、研磨フィルム、ラッピングフィルムの定期的な洗浄、ラッピングおよび研磨プレートの定期的な校正が含まれます。さらに、電源ケーブルとホースに損傷の兆候がないか確認する必要があります。HAMAI 9BFツールは、高精度ウェーハの製造に最適です。それはいろいろな適用に使用することができる平らで、滑らかで、光沢のあるウェーハを作成するための有効で、経済的な解決です。この資産は、既存の生産ラインに簡単に組み込むことができ、生産性と品質を向上させることができます。