中古 HAMAI 24BF-4 #9273210 を販売中
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HAMAI 24BF-4は、半導体デバイスの製造用に設計された多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。研削ユニット、ラッピング/研磨ユニット、研磨ユニットで構成されています。研削ユニットは、ダイヤモンドホイールを使用して半導体ウェーハを均一に研削します。ダイヤモンドホイールは、粉砕を制御するために調整可能です。研削ユニットはまた、高速かつ信頼性の高いチップ抽出を可能にするように設計されたクランプ機構を備えています。ラッピング/研磨ユニットは、8 15µmのダイヤモンドペーストを使用して望ましい表面品質を達成するように設計されています。丸型で研削・ラッピング動作を行う発振器を搭載しています。このユニットは、汚染を防ぐためにろ過水を使用するクリーニングシステムも備えています。磨く単位は化学機械ウェーハの磨くことのためにとりわけ設計されています。このユニットは、単一の基板ホルダーで直径8インチまでのウェーハを処理できます。ユニットは最大5,000rpmで回転でき、研磨パッドと再循環ウォーターシステムが含まれています。このシステムは、最小限の時間で最適な表面状態に設計されています。24BF-4は、半導体業界のさまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨用途向けに設計されています。機械には高度な安全機能と高度なオートメーションが装備されています。これにより、精度と再現性を向上させ、生産性を向上させることができます。あらゆるウェーハ加工用途に理想的な機械であり、堅牢で信頼性があります。
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