中古 HAMAI 22B #9249272 を販売中

HAMAI 22Bは、ウエハの高精度な仕上がりを生産および実験用途に提供するために設計されたウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ユニットを特定の要件に拡張して構成するためのモジュラーアプローチで設計されています。ウェーハの位置、送り速度、粉砕圧力を正確かつ正確に制御することで、表面欠陥が少ない極めて安定した仕上がりを実現します。その中核には、研削22B研磨作業を正確かつ再現可能に制御する高精度の研削ヘッドが装備されています。2つの研削ヘッドには、一連の交換可能なダイヤモンドまたはポリマー研削および研磨アタッチメントが取り付けられており、さまざまなウエハサイズ、形状、材料で使用することができます。このツールには小さな真空プラテンも付属しており、ほこりの収集と作業中の最適な安全性を可能にします。このアセットには、操作速度、送り速度、圧力などの粉砕条件を正確に設定できる完全組み込み制御モデルも装備されています。組み込み機器は、ユーザーがリモートでパラメータを調整することができます、コンピュータや他のデジタル機器を使用して、それが進むにつれて研削プロセスを監視することができます。これにより、研削作業の最適な再現性を確保することができます。このシステムには、センサーを内蔵したラッピングとポリッシングディスクも含まれています。センサーはディスクに印加された圧力を測定し、それに応じて研磨力を調整することができます。洗練されたセンサは、ウェーハ表面が研磨されたときにも検出され、研削サイクルのパラメータを自動的に調整することができます。HAMAI 22Bには顕微鏡も内蔵されており、研磨・研磨前・研磨後のウェーハ表面を精密に検査し、最適な研磨品質を実現しています。この顕微鏡はまた、統合されたマシンパラメータに基づいてウェハID認識を可能にします。全体として、22Bは研削および研磨作業を高精度かつ再現性のある制御を提供し、ウェーハの最高品質の表面仕上げを保証します。それは生産および実験室の適用のための理想的な解決です。