中古 HAMAI 16BN-3M5P #9007422 を販売中

HAMAI 16BN-3M5Pウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ダイヤモンド研削とラッピングを利用して、あらゆるサイズのウェーハに優れた表面と仕上げを迅速かつ正確に一貫して製造する精密機械です。このシステムは、CMP、エピタキシー層、薄膜、欠陥修復などの幅広い用途向けに設計されています。3スピンドル研削ヘッドは、3つの異なるダイヤモンドホイールで同時に研削することができ、より高速なスループットを実現します。ウエハ研削ユニットを研削することに加えて、ラッピングおよび研磨プロセスを実行することができます。15インチの検査ステーションを機械に組み込み、ウェーハ表面の手動および光学検査を可能にします。16BN-3M5Pは、正確なインプロセスおよび後処理の検査のための3軸リニアスライドを備えています。このツールは、シングルウェーハのローディングとアンロード、並びに自動シーケンスのローディングにより、カセットからカセット輸送まで、あらゆる種類の手動および自動ウェーハ処理に対応するように設計されています。ウエハハンドリングアセットは、特殊なウエハタイプと基板に対応するようにカスタマイズできます。ウェハグラインディングモデルは、プログラマブルコントローラと日本製マスターインバータドライブモータを備えています。このモーターはいろいろな表面および終わりの処理を可能にします。さらに、装置は完全に自動化された生産ラインに組み込むために合わせることができます。また、再現性と一貫性を確保するためにシステムが構築されています。これは、10のプログラム可能なレシピを持っています100ステップと温度、RPMや他の測定値を格納するデータロギングユニットが装備されています。HAMAI 16BN-3M5Pは、グリットレートと研磨速度を正確に調整するスピードランプ機能も備えています。16BN-3M5Pウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、あらゆるタイプのウェーハで優れた微細仕上げを必要とするあらゆる操作に適しています。表面の欠陥を迅速かつ正確に修正し、ウェーハ表面を清掃および研磨し、さまざまなラッピングおよび研磨アプリケーションを実行するように設計されています。このツールの高い柔軟性と性能により、あらゆる生産需要に最適です。