中古 HAMAI 16BF-4M-5P #293676465 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
HAMAI 16BF-4M-5Pは、HAMAIエンジニアリングが設計・製造したコンピュータ制御ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。400mm×400mmのウェットグラインディング、ラッピング、研磨ベッドサイズにより、シリコン、ヒ素ガリウム、さらにはアルミナや石英基板などの硬質材料においても、高品質で研磨性の高い平坦面を実現します。ラッピングプロセスは、基板を指定された表面仕上げに研削することから始まります。これに続いて、表面をさらに平準化するラッピング研磨剤が続きます。この場合、3つのステージがラップホイールと3つのディスクで使用され、徐々に表面を平準化します。ラップが完了すると、研磨プロセスが始まります。多研磨ヘッドを使用して、研磨されたウェーハ表面に精度と均一性を提供するため、16BF-4M-5Pは本当に輝いています。マルチポリッシングヘッドは、4つのダイヤモンドラッピングとポリッシングヘッドで設計されており、基板表面に均一で均質な仕上がりを作り出します。2つのスラリー循環ノズルは、基板表面のスラリーの均一な分布を保証します。このユニットは、研磨タイプ、回転速度、フィードレート、エンドポイント検出などのプロセスパラメータを簡単に制御できるグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で完全に自動化されています。このソフトウェアはまた、ウェーハ処理されたデータを記録し、品質保証と死後の分析を行います。HAMAI 16BF-4M-5Pは、MEM、 LED、半導体、ディスプレイウエハの研磨・研磨など幅広い用途に最適です。機械は優秀な質の結果の保証の精密そして再現性を提供します。さらに、すべてのコンポーネントは最高水準の信頼性と精度を念頭に置いて設計されており、16BF-4M-5Pはウェーハ処理に最適なツールです。
まだレビューはありません