中古 HAMAI 16BF-4M-5L-2L3M #9273144 を販売中

HAMAI 16BF-4M-5L-2L3Mは、半導体製造などの微細表面研磨用途向けに設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムの4つのモーター設計は、最大5軸の研削とラッピングを提供し、超滑らかな表面に鏡面のような仕上げを作り出すことができます。ユニットは、ラッピングプレート、研削スピンドル、研磨パッドの3つの主要なセクションで構成されています。ラッピングプレートはワークピースホルダーであり、研削とラッピングプロセスが行われている間、ワークをすばやく取り付けて固定し、所定の位置に保持することができます。研削スピンドルは、実際の研削とラッピングヘッドであり、所望の仕上げを達成するために必要な正確な動きを提供することができるモーターが含まれています。研磨パッドは、通常研削スピンドルに適用される研磨フィルムを保持するように設計された調整可能なプレートです。ラッピングプレートには統合された自動クランプ機があり、処理中にウェーハを確実にグリップするように特別に設計されています。締め金で止める用具はクランプを自動的にきつく締め、解放するのに使用される空気シリンダーが付いている一組の機械クランプから成っています。研削スピンドルは、駆動モータと3つのアクチュエータを備えた3軸回転機構で、研削とラッピングヘッドをx、 y、およびz方向に移動させることができます。研削スピンドルはまた、工具や工作物が加工工程中に過熱するのを防ぐ冷却資産を持っています。研磨パッドは2軸電動ベースで、研磨フィルムをスピンドルの周りに正確に配置できます。磨くパッドは異なったフィルムの厚さを収容するために調節可能振動を減らし、部分の終わりを改善するように設計されています。このモデルは、高品質の超滑らかなミラー状のサーフェスを正確なエッジジオメトリで製造することができます。プロセス全体を監視して最適な性能を調整することができ、装置はコンパクトでエネルギー効率が高く、メンテナンスはほとんど必要ありません。16BF-4M-5L-2L3Mは、幅広いウエハーや基板の研削、ラッピング、研磨に最適です。その多目的な設計および先端技術はそれを要求される精密生産の適用のための理想的な選択にします。