中古 HAMAI 16B #9252227 を販売中

HAMAI 16Bは、高精度な仕上げウエハ表面を一貫した品質で提供するために設計された高度なウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、平面および曲面の両方の用途において独自の2段階の研削プロセスを使用しており、低、中、高密度、および超高密度ウェーハ投影補正および研磨（PPCP）を含む幅広い基板金属仕上げを可能にします。HAMAI 16 Bユニットは、スムーズで正確なモーションコントロールのために、頑丈な鋳鉄部品とプリロードされたサーボモータで構築されています。精密な温度監視とフィードバックのために、デジタルのクローズドループ温度制御機も付属しており、最適なパフォーマンスを実現しています。その2段階の研削工具には、一定トルク、可変角度研削ヘッド、スイングアームモータ速度を備えた精密スイングアーム設計が含まれ、迅速かつ正確なウェーハ表面変調と仕上げを保証します。このアセットは、超低面粗さ要件、± 1nmピッチの精度までの許容誤差を持つ部品を製造することができ、ダイサイズ除去範囲は70µm以下です。また、半導体材料16B微細な低剛性、超薄型、積層層のための調整可能な研削ホイール速度も備えています。車輪の速度は10-250rpmから調節することができ基質の温度が余りに高くなることを防ぐために水冷装置が装備されています。このモデルには、完成したウェーハ機能の精度を保証する単色計測装置も装備されているため、ますます要求の厳しい製造やアプリケーションに最適です。0〜40°Cの動作環境温度範囲と20〜80％の相対湿度範囲を備えたこの研削盤とラッピング機は、作業を完了させるのに最適なオールラウンダーです。