中古 HAMAI 16B-5P #9073248 を販売中

HAMAI 16B-5Pは、半導体ウェーハの表面仕上げと平坦度を最高レベルにするように設計された、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは2つのモジュラー構成を提供します。16B-5P-SGは標準的なウェーハ研磨・研磨工程向けに設計されており、HAMAI 16B-5P-HGは高精度な研磨・研磨を提供しています。このユニットは、汚染や変動を最小限に抑えながら、生産スループットを最大化するように設計されています。16B-5Pは、効率的で汚染のないウェーハ交換を提供する5ピースカセットマシンを備えています。多数の研磨および研削ディスクは、幅広いプロセス用途にご利用いただけます。これらのディスクは簡単に変更でき、大量生産のためにツールを完全に自動化できます。HAMAI 16B-5Pは、高精度のSCARAロボットアームを採用し、研削/研磨ホイールの精密なモーションコントロールを可能にします。The16B-5Pはまた、ウェーハのローディングとアンロードのユニークな手段を備えており、手動で介入する必要がありません。16B-5Pは、クリーンな作業環境を確保するために、大容量の排気モデルを備えた完全に囲まれた資産です。エンクロージャには、残骸を除去するためのフィルターと真空装置が装備されています。このシステムは、優れた表面仕上げと平坦性で地面と研磨ウエハを生成することができます。また、最大8ミクロンのRMS仕上げでウェーハを製造することも可能です。HAMAI 16B-5Pは、ウェーハ破損の可能性を低減し、ユニットに低ノイズを導入するための極端な振動絶縁を備えています。機械はまた偶然の損傷を防ぐためにウェーハのための機械保護と設計されています。このツールにはデータロギングアセットが装備されており、ウェーハプロファイルとプロセスパラメータをリアルタイムで監視できます。また、モデルの機能を監視および制御するための読みやすいグラフィカルインターフェイスも提供します。また、ウエハの位置を監視し、最適なプロセス能力を得ることができる独自の自動ウェハトラッキングシステムを備えています。16B-5Pは、高品質の半導体ウェーハを製造するために、信頼性が高く、高精度で、汚染のないプロセスを提供します。表面仕上げと平坦性に優れたウェーハを製造することが可能で、生産性とスループットを最大限に引き出すよう設計されています。