中古 GUANGDONG FUSAN FXM-11 / FPG-9 #9093622 を販売中

広東FUSAN FXM-11/ FPG-9は、集積回路製造のための高品質で生産レベルの基板を製造するように設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。システムには、生産を監視し、パラメータを調整し、タッチスクリーンディスプレイを介して保存されたレシピを表示するシンプルで使いやすいコントロールパネルがあります。主なコンポーネントには、調整可能なエアベアリングスピンドル、ウェーハ転送、サンプルハンドリング、自動研削/ラッピング/研磨ヘッド、エッジ検出ユニット（EDS）があります。研削用途には、FXM-11/ FPG-9は、研磨スラリーの動きを正確に制御するマクロオートラインアナライザを備えています。また、低騒音動作と安全性の向上のための研磨ノイズ低減を内蔵しています。機械は効果的に顧客の要求を満たすために非常にカスタマイズ可能なプロセスレシピを提供します。たとえば、特定のウェーハジオメトリ、基板要件、およびプロセス制約に基づいて研削方法を設定できます。エッジ検出ツール（EDS）は、広東省FUSAN FXM-11/ FPG-9のハイライト機能です。この資産は、反転ナイフエッジを使用してサイドウォールの粗さを監視し、表面平坦度を0。5 µm以内に検出します。EDSは、エッジ検出ポイントのスクリーングラフと研削ストロークの正確な制御も提供します。安全対策として、ナイフエッジがサンプル内の亀裂やチップを検出した場合、このモデルは音響警告を受けます。ウェーハ搬送装置は、汚染のない次のプロセスへの研磨ウェーハの均一な転送を保証します。FXM-11/ FPG-9のサンプル処理は、品質を損なうことなくシステム速度を最大化するように設計されています。粒子の汚染を最小限に抑えながら、最大8インチのサンプルサイズに対応できます。要するに、GUANGDONG FUSAN FXM-11/ FPG-9 from GUANGDONG FUSANは、精度と効率性を兼ね備えたウェーハの生産研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。その汎用性の高い機能により、業界の専門家は最小限の労力で正確で高品質の基板を製造することができます。さらに、ハイエンドの安全機能により、幅広い生産環境での使用に適しています。