中古 GUANGDONG FUSAN FXM-10 / FPG-13 #9093628 を販売中

広東FUSAN FXM-10/ FPG-13は半導体産業の使用のために設計されているウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。機械は回転式テーブルに取付けられる研摩材料を支える精密地上のダイヤモンド用具を使用します。テーブルは低速（通常は1000 RPM以下）で回転するため、ダイヤモンド工具はより少ない労力でより多くの材料を効果的に粉砕、ラップ、研磨することができます。自動積み下ろしシステムによりダウンタイムを最小限に抑え、研削、ラッピング、研磨ウエハを素早く切り替えることができます。このマシンには2軸プログラマブルコントローラが搭載されているため、研削、ラッピング、研磨パラメータの容易な制御と最適化が可能です。オプションのProgrammable Logic Controller （PLC）により、運用パラメータをさらにカスタマイズできます。内蔵スピンドルユニットは、優れた精度と再現性を提供し、高速性と効率性を向上させるためにマルチスピンドルマシンにアップグレードすることができます。FXM-10/ FPG-13は2つの調節可能な引張り棒を利用して高精度の、反復可能な粉砕の懸濁液用具が装備されていて、均一な、滑らかな表面の終わりを保障します。アセットは、最大許容誤差100nmの可変サイズと厚さのウェーハを研削およびラップするように設計されています。研削とラッピングのプロセスは、ディジタルディスプレイを備えた60x顕微鏡を使用して監視されます。また、ロードセルを内蔵したポリッシングヘッドと、薄膜構造やその他の高度な基板を精密かつ再現性のある研磨用に設計された流体負荷/アンロード制御を備えています。研磨ヘッドは高速ダイレクトドライブモータに搭載され、研磨工程の力と速度を素早く調整できます。広東FUSAN FXM-10/ FPG-13は、精密研削、ラッピング、研磨プロセスの組み合わせであり、半導体製造のための完全なソリューションを提供します。高度な制御、サスペンション、研磨システムにより、表面品質に優れた高精度ウエハを製造できます。高度なパッケージング基板、ディスプレイガラス、MEMS/オプトエレクトロニクス材料などの用途に最適なソリューションです。