中古 GIGAMAT 3826 #9143786 を販売中
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ID: 9143786
Spare parts:
(17) Wafer template for 8"
(9) Wafer template for 4"
(191) Insert for 3" wafer
(163) Insert for 6" wafer
(40) Insert for 8" wafer
(4) Red shims for 3" wafer
(1193) Red shims for 2" wafer
(219) Red shims for 4" wafer
(123) Red shims for 8" wafer
(86) Yellow shims for 8" wafer
(28) Green shims for 8" wafer
(28) Transparent shims for 8" wafer
(45) Green shims for 8" wafer
(19) Transparent shims for 4" wafer
(19) Yellow shims for 4" wafer
(6) White shims for 6" wafer
(21) Transparent shims for 6" wafer
(77) Filter bag
(46) Yellow shims for 6" wafer
(8) Red shims for 6" wafer.
GIGAMAT 3826は、半導体用に作られた強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。3826のコアには、強力な研削と研磨ヘッドを収容する研削lasp-polプラットフォームに接続されたLoadLockカセットローダーがあります。このセットアップは、迅速なサンプルの読み込みとアンロードだけでなく、高いマイクロ仕上げ機能を提供します。高度なウェーハクランプと駆動システムにより、信頼性の高い研削と研磨が正確に制御されます。最新の可変周波数駆動技術と組み合わせた高度な制御と精度により、GIGAMAT 3826は最適な表面仕上げ結果を達成できます。これにより、敏感なウェーハ生産アプリケーションに最適です。グラインドヘッドは6。6kWのブラシレスモーターで駆動され、高精度で再現性のある先進的なスピンドル剛性と振動減衰を特長としています。オプションのDC 6。6kWターボモータを使用して、最大粉砕電力を得ることもできます。また、高速工具交換用の低慣性ラピッドチェンジユニット(RCS)と粉末再循環機(PRS)を搭載し、粉塵集塵効率を高めています。3826ラッピングおよび研磨プラットフォームには、最大5kHz振幅、最大12 kHzの調整可能な2つの超音波ラッピングヘッドがあります。強力な75HP ACサーボモータは、ラッピングツールを正確な円運動で駆動するために組み込まれており、複数のラッピングプロセスで優れた一貫性を提供します。高度な制御ツールにより、反復可能な結果が保証されます。研磨のために、GIGAMAT 3826には革新的な圧力制御アセットが装備されています。このモデルは、5gから500gまでの圧力範囲を維持できる特許取得済みの3ポイントサポート装置を使用して、サンプルで完全に均一な圧力を生成します。インテリジェント制御システムは、そのサイズ、形状、表面仕上げ要件、および材料に基づいてサンプルに圧力を調整します。3826は最も堅い半導体の適用のためになされる信頼でき、高性能の粉砕、ラッピングおよび磨く単位です。その高度なドライブと制御システムは、再現性と信頼性の高い結果を保証します。圧力制御機械は一貫した表面の終わりのための磨く圧力を保障します。これにより、最も困難な生産プロセスに最適です。
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