中古 GIGAMAT 3806 #9248737 を販売中
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StrasbaughのGIGAMAT 3806は、費用対効果の高い高精度アプリケーションで使用するために設計された、フル機能の多目的ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。3806は部品のローディングおよび荷を下すことのための標準的な6"ウェーハのキャリアを利用し、操作の間に高いスループットを保障します。非平面のためのオプションの真空ホールドダウン、および平面のための揺れのないTorstenRingクランプシステムなど、さまざまなキャリアタイプが用意されています。さらに、生産可能な薄膜ラッピング結果を得るために、特殊なウエハキャリアを用意しています。GIGAMAT 3806は、特許取得済みの多軸モーションユニットを使用して、研削、ラッピング、研磨プロセス中に卓越した一貫性と精度を提供します。このマシンは、2つの独立した完全にプログラム可能なリニアX軸とY軸、および6つの同時制御サーボ駆動ヘッドを使用して、正確な結果を保証します。さらに、このツールはインプロセスおよび最終レベルの計測をサポートしています。3806は高いトルクの直接駆動モーターによって動力を与えられ、回転範囲中の滑らかな動きを提供し、堅いプロセス制御を維持するのを助けます。このアセットは、ウエハランアウトを10 μ mまで提供し、グラインド、ラッピング、研磨を最大45 μ mのエッジ間で行い、30 μ mの中央から端までのウエハ契約を最大2。5 μ mで結びます。GIGAMAT 3806は、精密なサーボ制御ポペットバルブでスループットとプロセス制御の両方を最大化するように設計されており、統合された研削、ラッピング、研磨石アセンブリでツーリングを最適化しています。また、専用の40,000rpmスピンドルドライブ、精密ソフトウェアコントロールキャリア装填装置、包括的な安全システムを備えています。3806はWindowsベースで、直感的なコントロールインターフェイスとわかりやすい指示セットを備えています。また、研削速度制御用のEブロックや、拡張可能なアームを備えた個別のプロセスモニタなど、さまざまなアドオン機能もサポートしています。追加のオプションは、特定のアプリケーション用にユニットをさらにカスタマイズするためにも利用できます。
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