中古 GATAN / SAGITTA Gemini CX #9131544 を販売中

GATAN/SAGITTA Gemini CXは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置の組み合わせです。これは、単一のウエハプロセス用に特別に設計されています。このシステムはマルチステップであり、プロセスを完了するには5つの別々の部品が必要です。最初のステップはダイヤモンドの粉砕媒体とのウェーハの粉砕です。これは粉砕作用を使用して粒度を低減し、均一な表面仕上げを保証します。2番目のステップは平坦か形を変えることなく表面を磨き、滑らかにするダイヤモンドのラッピング媒体の低圧適用とラッピングです。3番目のステップは磨くことです。これは研磨スラリーを使用して表面粗さを低減し、平面化された表面を作成します。4番目のステップは、表面の均一性を洗練したダイヤモンドラッピングメディアの高圧アプリケーションでラッピングされています。5番目と最後のステップは、アクティブな化学溶液を使用する化学機械研磨です。このステップでは、表面を洗浄し、研磨時間を短縮し、半導体デバイスに適した誘電層を作成します。GATAN Gemini CXユニットの主なコンポーネントは、研削/研磨ユニット、電気機械運動、半自動制御です。研削/研磨ユニットは、一度に1つのウエハを保持し、処理することができます。ウェハチャック、パッドホルダー、ダイヤモンド研磨媒体を装備しています。電気機械運動はステッピングモーターによって提供され、機械はマイクロプロセッサによって制御されます。これにより、ウェーハの正確な移動とアライメントが可能になり、回転速度と圧力を正確に制御できます。コントロールはプロセスのフィードバックを提供し、変数とパラメータを制御するためのユーザー入力オプションを提供します。このツールは、プリセットパラメータを使用して自動的にウェーハを研磨して磨くこともできます。SAGITTA Gemini CXアセットは、優れた結果を出すことができるコスト効率の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。シングルウエハ動作用に設計されており、高度に自動化されています。それは頑丈な構造と造られ、正確さおよび一貫した結果を保障するように設計されているいろいろな特徴があります。自動化されたプロセスは使いやすく、異なった表面の条件のための速度そして圧力の範囲を達成するのに使用することができます。