中古 G&P TECHNOLOGY Poli-400L #9067708 を販売中

G&P TECHNOLOGY Poli-400L
ID: 9067708
CMP Tool.
G&P TECHNOLOGY Poli-400Lウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングシステムは、半導体ウェーハを極めて微細な公差まで加工するために設計された専用のオールインワンマシンです。研削、ラッピング、研磨のすべてのコンポーネントを統合することで、Poli-400Lはさまざまなアプリケーションでウェーハを処理するための優れた結果を提供します。4インチから300mmまで、あらゆるサイズのウェーハの加工に適しています。G&P TECHNOLOGY Poli-400Lは、同じ直径の2つのウェーハの同時研削、ラッピング、研磨を行うように設計されています。研削、ラッピング、研磨プロセスごとに2つの独立したスピンドルモータを備えています。モーターはプロセスが常に一貫しているように均一な速度および力を提供するように設計されています。スピンドルは、処理されるウェーハのサイズに基づいて最適な結果を保証するために調整可能です。機械はまた潜在的な汚染を避けるために真空の真空の真空の機能が装備されています。最大-80kPaの調整可能な真空圧力範囲と、オプションの水ミッティングシステムを備えており、粉塵粒子の蓄積を防ぎます。研削の面では、Poli-400Lは研削プレートと研削研磨剤の両方を提供しています。ダイヤモンド、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、その他の材料を含む研磨研磨剤の配列が付属しています。研削プレートは、さまざまな形状とサイズを備えており、望ましい表面粗さと平坦性を実現しています。ラッピングのために、G&P TECHNOLOGY Poli-400Lは6000rpmまで回転できるラッピングプレートで優れた結果を提供します。ラッピングプレートは様々な形状とサイズを備えており、最大有効性があり、300mmまでのウェーハに使用できます。研磨は、研磨室に直接供給される研磨パッドとスラリーを使用して行われます。研磨チャンバーは、効率的にスラリーをキャプチャし、均一で均一な表面仕上げを作成するように設計されています。スラリーは、ウェーハサイズに応じて、ダイヤモンドまたはアルミナ研磨粒子を含む水溶液です。機械はまたすべての磨く変数への容易なアクセスのための直観的なタッチ画面の表示を特色にします。これには、研削速度、研削角度と力、およびラッピング圧力、回転速度と角度、ならびにすべての研磨パラメータを調整および記録する機能が含まれます。Poli-400Lは、ウェーハの研削、ラッピング、研磨に関して優れた結果を提供するために特別に設計されています。それは均一な力、調節可能な紡錘、真空の真空の真空、調節可能な粉砕およびラッピング版、および最高の効率のための磨くパッドおよびスラリーを提供します。このマシンは、優れたウェーハ加工結果をお探しの方に最適なソリューションです。
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