中古 G&N V400 #9208430 を販売中
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ID: 9208430
Ceramic wafer grinding machine
With its polymer concrete casting for better vibration absorption
Improve structural integrity
Rigidity & stiffness to grind advanced materials
Technical data:
Motor: 4 kW
Spindle speed: 1450 RPM
Total connected load: 8 kW
Chucks: 28x2” 16x3” 12x4” - 9x5” 6x6” 3x8” 1x12”
Rotary tabl: 520 mm
Rotary table speed: 1 - 30 rpm
Cup grinding wheel:
Vitrified: 250 x 40 x 76
Diamond / CBN: 250 x 40 x 76
Z-Axis & rotary table motion: PMAC-Lite (4 Axes) Control
Compressed air: 60 - 90 PSI
Fine down feed:
Range: 200 mm
Step: 1 µm
Machine control:
Retrieve data and communicate directly with program 15" TFT touch screen & industrial computer support
Dual spindle machine for fast stock removal & ultra-fine surface finish
Coolant treatment:
Closed-loop chiller controls grinding coolant temperature & coolant
Integrated filter system separates Ga As & other material particles for disposal & reclaiming
Power supply: 220/380/440 V, 60 Hz.
G&N V400ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、直径8インチまでのシリコンウェーハの湿式および乾式研削、ラッピングおよび研磨用に設計された強力で高効率な機械です。このシステムは、密閉されたステンレス鋼の研削タンクで構成されており、統合循環および濾過システム、垂直モータ駆動ベースプレート、および上部研磨プラテンがすべてコンピュータ制御メインコントローラに接続されています。このユニットは、垂直方向のモータ駆動ベースプレート、回転と傾きの調整、および上部の研磨プラテンからなる独自の3軸モーションマシンを使用して動作し、正確な横方向と放射状の動きを提供します。モーションツールは、高精度で精密な研削と研磨の結果を提供します。研磨プラテンには、ウェーハの垂直回転用の精密エアーベアリングが装備されています。ウェーハ研削プロセスは専用の制御ユニットを介して制御され、粉砕速度、圧力、時間、粉砕石やパッドの形状などのパラメータを調整することができます。アセットには高精度のタッチプローブも装備しており、研削工程中に正確な表面粗さ測定を行うことができます。このモデルには、生産性を向上させるために設計されたさまざまなアクセサリーをさらに装備することができます。回転タレットスタイルのリフティング装置が用意されており、研削タンクへのウェーハの迅速かつ簡単なローディングとアンロードを提供します。ウェーハの完全なアライメントには、真空治具システムも利用できます。V400ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、さまざまな薄膜およびウェーハ用途に適した高効率で精密な生産機です。細かい制御と簡単なローディングとアンロード機能により、バッチ処理に最適で、優れた品質と生産性を提供します。
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