中古 G&N MPS T500 #293757007 を販売中

G&N MPS T-500ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、超薄型および超薄型基板の製造において優れた表面品質と高いスループットを提供するように設計されています。高度な研削、ラッピング、研磨機能により、0。2〜3。0mmの厚さの基板加工が可能です。MPS T-500ユニットは、300mm、 200mm、 100mmの半導体ウェーハに適しています。G&N MPS T-500は、研削、ラッピング、研磨作業において業界トップクラスの精度と再現性を提供します。ラッピングと研磨ヘッドの独自の「マルチヘッド」配置により、基板の研削と仕上げを正確に制御できます。研削ヘッドにはスピンドルマウントダイヤモンドホイールが装備されており、最大3000rpmの超高速に到達することができ、粗面の高速研削が可能です。両面ラッピングと研磨ヘッドは、非常に滑らかな表面を作成することができ、電気研磨媒体が装備されています。また、12インチのフラットプラテンを備えており、一度に最大24個のウェーハを保持することができます。MPS T-500はユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、構成、インストール、メンテナンスを非常に簡単にするためのモジュラーアプローチで設計されています。このツールには、エアハンドリングと濾過、正確な温度制御を備えた高度な制御資産、高度なプロセス監視と分析を提供する統合された拡張可能なソフトウェアプログラムが組み込まれています。G&N MPS T-500は、さまざまな研磨および平面化操作に最適なツールです。光学用途のダイヤモンド（#271-2ミクロン）から半導体用のタングステン（#2700-8ミクロン）まで、あらゆる種類の基板の加工に適しています。MPS T-500は、多種多様な研磨剤と研磨媒体により、精度と一貫性を備えた洗練された表面仕上げを実現します。