中古 G&N MPS R400 #293645363 を販売中

G&N MPS R400は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための高度な自動化装置です。これは、大小のウェーハ上のシングルパスアプリケーションとマルチパスアプリケーションの両方のために設計されており、最大4"正方形から最大8"ラウンドまたは6"正方形の基板を提供します。MPS R400はロボラップの標準構成を備えており、連続したプロセスサーフェス間でウェーハをロボット的に移動させます。これは、手動での処理、スループットと一貫性の向上、およびヒューマンエラーの削減を意味しません。また、厳選された個別形状の研磨パッドと、均一な研削、ラッピング、研磨を保証するダイヤモンドサスペンションにより、より高いプロセスセキュリティを保証します。G&N MPS R400には、リアルタイムでプロセスパラメータを監視および正確に調整するクローズドループのフィードバックシステムが装備されています。これにより、一貫した正確な除去速度を実現しながら、プロセス時間を大幅に短縮できます。さらに、このユニットには、プロセス署名を記録し、通知を設定するためのレシピ駆動のデータログ機能が含まれています。顕微鏡、高圧噴射、ろ過ユニットなどのアクセサリ、および材料のバッフィングや表面の損傷を防ぐオプションの振動分離を装備することで、機械をさらに最適化することができます。さらに、オプションの真空ウェーハチャックは、特に超薄型ウェーハの場合、より高い歩留まりを保証します。MPS R400は、クラスタ研磨研磨や超ナノ研磨などの高度な研磨技術により、表面仕上げの達成が可能です。高い処理速度と高い精度と信頼性の両方を提供し、堅牢な産業用グレードのビルド品質と、最適化されたウェーハアライメントと循環パラメータ用に設計された統合プランニングツールを組み合わせています。最後に、アセットは、オペレータとその周辺の安全を確保するための緊急停止ボタンを備えているため、安全性を念頭に置いて設計されています。全体として、G&N MPS R400はウェーハ研削、ラッピング、研磨のための信頼性と高品質のマシンであり、再現性と信頼性の高い結果を提供します。