中古 G&N MPS 940 #9172866 を販売中

Gatan Model 940 MPSは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に使用される多目的機器です。このシステムは、研削、ラップ、および研磨平面（$0 ^\circ$-15$^\circ$slopes）、円筒形（$0 ^\circ$-180$^\circ$slopes）、または球面サーフェスを持つ。さらに、Si材料と非Si材料の両方を処理できます。ユニットの中心には、最大4軸の高速、高精度のモーションコントロールを提供するインラインモーションコントロールプラットフォームがあります。これにより、X、 Y、 Z、 Aステージの精度制御が容易になります。また、スピンドルモータを搭載し、円筒面・球面面ともに高精度加工が可能です。可変速度制御により、最大1000 RPMの最大スピンドル速度を実現します。また、特許取得済みのKinematic Quick Change （KQC） mating toolを使用して、工具資産を迅速に交換できます。さらに、Gatan G&N MPS 940モデルには、ダイヤモンドスラリー、流体、ペーストなど、多数の研削、ラッピング、研磨ツールが装備されています。また、クリーニングプロセスを最適化するために使用される統合エアノズルも内蔵しています。このシステムの他の機能には、内蔵の安全インターロック、オプションのダスト抽出フード、およびタッチスクリーンベースのグラフィカルユーザーインターフェイスがあります。また、複数のチャック位置を持つ真空チャッキングユニットと、視認性を高めるLEDライトマシンを備えています。全体として、Gatan Model 940 MPSは、幅広い材料の超精密な研削、ラッピング、研磨、洗浄に理想的なツールです。多彩な機能とカスタマイズ可能なオプションを備えたこのアセットは、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性と一貫したソリューションです。