中古 G&N MPS 3-134 #9148732 を販売中

G&N MPS 3-134ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハの精密で反復可能な平面研削、ラッピングおよび研磨を提供するように設計されています。このシステムは、ウェーハサイズ、形状、材料の多種多様を研削、ラップ、研磨することができます。処理するウエハサイズの範囲は、直径58。75〜137。16mmです。3-134は10から30RPMまで及ぶ可変的な速度の主要なドライブモーターを提供します。これにより、ユーザーは要件に合わせて研削速度を選択できます。プラテンまたは研削プレートは、オペレータが研削力を調整できるように可変圧力スプリングユニットを備えています。これにより、一貫した表面仕上げと均一な厚さが保証されます。ラッピングステーションでも同様にラッピングパラメータを調整できます。ラッピングヘッドには、調整可能な速度でラッピングプレートを回転させる可変スピードモーターが装備されています。研磨剤を供給する液体スラリーは、ラッピングプロセス全体で研磨剤の均一な分布を保証する精密スプレーマニホールドを介して供給されます。さらに、プリソーキング機構により、ラッピングプレートの摩耗を低減します。研磨ステーションには、調整可能な速度で研磨板を保持するための可変スピードモーターが装備されています。空気圧作動機構により加圧されたヘッドは、研磨力を加えるために使用されます。研磨ステーションは、研削およびラッピング工程の傷と残留表面欠陥を研磨するのに役立ちます。シンプルで一貫性のある操作のために、このマシンにはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と2つのタッチスクリーンコントロールが装備されており、ユーザーは繰り返し可能なプロセスのためにコントローラメモリにパラメータを保存することができます。ウェーハの表面仕上げの最高品質を確保するために、制御ツールはまた、表面特性のリアルタイム分析を提供するデジタルサーフェスアナライザに取り付けられています。MPS 3-134は、効率的な生産実行のための完全な研削、ラッピング、研磨資産を提供します。高圧・低圧用途に適しており、厚さ15mmまでのウェーハ加工が可能です。精密制御により、一貫した結果が得られ、時間のかかる試行錯誤プロセスを排除します。