中古 G&N MPS 2 R300 #9229189 を販売中

G&N MPS 2 R300ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、幅広い基板を処理するための完全自動化されたツールです。可能な限り低い表面粗さと均質性を実現するように設計されています。このシステムは自給自足であり、自動研磨洗浄後のコンディショニングサイクルを備えており、高品質で低欠陥の表面を迅速に生成します。本機にはダミーウェーハローディングユニットが内蔵されており、複数のウェーハを同時に素早く積み下ろすことができます。ダミーウェハローディングマシンは、複雑な形状とサイズの生産ロットを処理するときに特に有益です。ウェーハのサイズや形状に応じて、自動的に送り速度と砥石圧力を調整します。G&N MPS2-R300には、ラップ前にウェーハを正確に回転および位置決めするためのオンボード高精度ターニングプラットフォームも含まれています。効率的なラッピングのための高効率の真空チャックは、ツールを完了します。MPS 2R300のラッピングセクションは、スタティックとモバイルの2つの独立したダイヤモンドラッピングセグメントを使用します。サーボフィードバック制御によるラップサイズ調整が可能です。ラッピングセグメントは、研削およびラッピング中に表面に正確な圧力をかけます。特別なポンプアセットは空気をフィルタし、モバイルと静的ラッピングセグメント間のギャップを常に精密仕様内に保ちます。MPS 2-R300研磨セクションは、効果的で均一な研磨のための固定多層研磨モデルを使用しています。基板はフェルトパッドでサポートされ、研磨は制御されたCDA-CNC研磨ホイールによって行われます。研磨ホイールは、最適な平坦度と表面精度を提供するために強化されています。G&N MPS 2-R300には、最終処理用の統合ポストコンディショニングサイクルも含まれています。このサイクルは、最高精度の平坦性を提供するように設計されています。このサイクルは、ウェーハ基板を元の位置に自動的に戻し、各ウェーハの品質を測定することで完了します。G&N MPS 2R300ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、高精度のウェーハと基板を処理するための完全かつ非常に効率的なソリューションを提供します。表面精度と品質に優れ、大量生産に適しています。