中古 G&N MPS 2-134 #9227858 を販売中

G&N MPS 2-134ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置（MPS 2-134）は、集積回路（IC）および基板ウェーハの研磨および研磨用に設計された革新的な製品です。このシステムは、高度なプロセス精度、再現性、およびスループット性能を可能にするさまざまな周辺部品の組み合わせで構成されています。このユニットは、最高の半導体製造要件のためのウエハの超精密製造のために設計されています。G&N MPS 2-134は、ウエハ研削と研磨のためのユニークで堅牢で信頼性の高いプロセスを提供します。研削ホイールと研磨パッドからなる2段の研削・研磨ユニットを搭載しています。粉砕車輪はダイヤモンドかcBNの研摩剤から成っています。薄いウェーハや厚いウェーハの高速研削用に設計されており、高い精度と再現性を備えています。第2段階は、ウェーハ表面を研磨するための化学的/機械的（CMP）バッフィングプロセスです。ウエハの材質や特性に応じた研磨スラリーを使用して研磨工程を行います。MPS 2-134は、研削および研磨プロセスを正確に制御します。自動ギャップ調整機能を備え、研削砥石とウェーハのギャップ幅を測定し、最適な加工精度を確保します。この機能は、特定のアプリケーションに最適なプロセスパラメータを設定するのにも役立ちます。このユニットには、分散制御ツール（DCS）アーキテクチャを使用した高度なプロセス制御も含まれており、研削および研磨プロセスのリモート監視および制御が可能です。G&N MPS 2-134は、自動化された保護モデルと緊急停止回路を備えているため、オペレータの安全機能も強化されています。この機能は、機器の使用中に潜在的な事故からユーザーを保護するのに役立ちます。研削および研磨プロセスの効率を最大化するために、MPS 2-134は独自のバッフィングスラリーとバッフィングパッドホルダーを使用しています。電動機器を備えたホルダーは、パッドやスラリー容器の迅速かつ簡単なローディングとアンロードを可能にします。この機能により、スラリーとパッドの切り替え時に潜在的な時間損失がなくなり、生産性、スループット、プロセスの再現性が向上します。全体として、G&N MPS 2-134は半導体製造の厳しいニーズに対応するために設計された革新的なシステムです。このユニットは、ウエハ研削、ラッピング、研磨プロセスに対する独自の堅牢で信頼性の高い制御を提供し、最先端のアプリケーションで最高品質のウエハを保証します。