中古 G&N MPS 132 / MPS 134 #9227754 を販売中

G&N MPS 132/MPS 134は、幅広いウェハ準備プロセスを実行するように設計された堅牢なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。複数の機能を備えたモジュラーシステムであり、ソーイング、研削、背面薄型化、エッジ研削、背面研磨、前面研磨など、多くの材料加工アプリケーションに理想的なソリューションとなっています。このユニットには、精密ステージ、リニアドライブ、高解像度エンコーダが装備されており、ウェーハを目的のターゲット位置から2 µms以内に配置することができます。機械はまた動き操作および滑らかで、反復可能な動きのプロフィールの高精度を保障する粘着なしの空気軸受けを特色にします。MPS 134には「、ポストモルテムスキャン」と呼ばれる分析ツールが搭載されており、研削および研磨プロセスの分析に使用できます。高さ1。8mmまでの高精度なウェーハ溝を可能にする粗溝工具を搭載しています。ウェハフラット性に優れたマルチホイール技術を採用しています。このモデルのユニークな設計により、最大4つの個別の研削/ラッピングプロセスを1つのウエハに最適化できます。これは、研削/ラッピング/研磨プロセスを正確に制御することを可能にする高度なモーションコントロール装置の統合によって行われます。MPS 134は、ウェーハの表面粗さを測定するために使用される精密測定システムを備えています。このユニットはインライン圧力分解機を備えており、研削およびラッピング中にウェーハ表面全体で大きな圧力変動を回避するのに役立ちます。最後に、このツールには高度な安全資産が装備されており、操作のための安全な環境を提供します。MPS 132/MPS 134は優れたウエハ研削、ラッピング、研磨モデルで、優れた性能を提供し、さまざまな材料加工アプリケーションに最適です。モジュラー設計、精密なモーションコントロール装置、さまざまな安全対策により、ウェーハ加工作業に最適です。