中古 FUJI 4B-4L-4WAY #9224520 を販売中

FUJI 4B-4L-4WAYは、半導体ウェーハの研削、ラップ、研磨に使用される最先端のウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。4方向ラッピングステーション、4方向研削ホイール、4方向研磨ステーション、プログラマブル制御システムを備えています。4方向のラッピングステーションは、4つのラッピングホイールヘッドすべてを同時に回転させて移動させ、均一な動きを保ち、常にウェーハと接触します。ウェーハを常に同じ平面にラップするように設計されており、完全な均一性のための材料除去の均一な分布を可能にします。ラッピングヘッドは、高いリリーフ角度に設定することができ、あらゆる表面欠陥や粗さから解放された制御材料の除去を可能にします。4方向研削ホイールは、4つの個別研削ヘッドを組み合わせており、反対方向に回転し、研削の精度を高めることができます。4つの個別研削ヘッドにより、ウェーハ全体を均一に研削することができ、高い精度と材料除去を実現します。4方向研磨ステーションは、基板を固定するための研磨パッドを使用し、4方向研磨および研磨ヘッドは360度の軌道で回転します。これにより、ウェーハ表面全体に均一な研磨が保証されます。軌道速度を制御するために可変周波数ドライブが使用され、オペレータは最適な結果を得るために研磨速度を調整することができます。機械4B-4L-4WAYまた操作を容易にするためにコンピュータ化されたプログラム可能な制御用具を特色にします。この資産は、プロセスレシピの設定、プロセス情報の監視、プロセスパラメータの制御、トラブルシューティングなどを可能にします。ユーザーはプロセスレシピを編集、保存、リコールし、プロセスのリアルタイムデータを監視することができ、精度と再現性が向上します。FUJI 4B-4L-4WAYモデルは、半導体ウェーハ研削、ラッピング、研磨のあらゆるニーズに最適なソリューションです。ユーザーフレンドリーで正確な制御装置により、平坦性と材料面積の除去の両方で非常に均一な表面を提供することができます。