中古 EXCEL Micron 618 #170194 を販売中

EXCELミクロン618は、効率的でユーザーフレンドリーなウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。単一のウエハ加工ソリューションを提供し、短時間で優れたウエハ仕上げと均一性を実現します。このシステムは、プロセスエンジニアリングの最新の進歩と超精密技術を利用して、ウェハごとに優れた平坦性と粒子のない表面を確保します。ミクロン618は、ウェーハの前後から高い生産スループットで加工を可能にする回転ヘッド設計を特徴としています。このユニットは、2つの高精度プロセスステージと2つの制御可能な独立したスピンドルを使用しています。8インチおよび12インチのウェーハを、可変ストロークスケジュールと可変速度制御で処理できます。EXCEL Micron 618の高度な制御機は、ユーザー定義のパラメータと自動プロセス最適化に基づいてバッチ処理を可能にします。それは独立してプロセスを制御し、すべてのウエハで優れた表面仕上げをもたらします。高度なセンサは、製造された圧力とトルクを監視するツールに搭載されており、研磨ビーズの摩耗を最小限に抑えて一貫したプロセスを保証します。ミクロン618はまた、統合されたインライン粒子検査とプロセス制御を提供し、ウェーハの清浄度を最大化し、潜在的な欠陥を最小限に抑えます。その精密研磨分散アセットは、加工チャンバ内の一定の均一な研磨濃度を保証し、より均一な研磨結果を可能にします。EXCEL Micron 618は、リモートモニタリング、PC/SCADAインターフェイス、自動化されたロボットローダーなど、多彩なオートメーション機能も備えています。これにより、コスト効率が高く高精度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションを実現し、大量生産プロセスに組み込むことができます。