中古 ENM G27-55AGC #170195 を販売中

ENM G27-55AGCは、1mm （40 mil）から0。5 mm （20 mil）までの基板用に設計された産業用ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは費用効果が大きく、信頼できる高性能の機械設計を特色にします。この研磨および研磨システムは、微細な表面仕上げ、超精密表面状態の監視、および厳しい表面均一性を必要とするアプリケーションに最適です。G27-55AGCには、ダイヤモンドホイールと補助ホイールを使用して高い精度と再現性を提供するユニークな研削ホイール構成が含まれています。ダイヤモンドの車輪は精密粉砕およびラッピングのために設計され、速く、有効な粉砕プロセスを提供します。この精密粉砕はまた表面の終わり、均等性および正確さの厳密な制御を可能にします。補助車輪はダイヤモンドの車輪のサイズに一致させるために調節可能です。これにより、0。2 μ mの解像度に高精度の表面プロファイルを作成することができます。ENM G27-55AGCには、粉砕およびラッピング工程で発生する粒子のチップの排出と封じ込めを保証する独自の静水圧エアベアリングマシンも含まれています。このツールは、ウェーハの品質を向上させ、チップやその他のデトリタスをウェーハ表面に保持することを排除し、精度と均一性の両方を向上させます。また、エアーベアリング資産は、生分解性のない冷却剤の必要性を排除しながら、生産速度を向上させます。このモデルには、基板の表面仕上げと均一性を調整する5軸の研磨ステーションも含まれています。このステーションは、0。02度の角度精度で、表面仕上げと研磨方向を0〜30度から調整することができます。研磨ステーションは、テクスチャリング、汚染物質や表面傷の除去、欠陥の増加、反射率の向上など、さまざまな用途に使用できます。また、メンテナンスを最小限に抑え、汚染リスクを最小限に抑える効率的な設計をG27-55AGCしています。機械は過熱保護、自動電源遮断および作り付けの集じん装置を含むいろいろな安全機能が装備されています。これにより、安全上のリスクを最小限に抑え、よりクリーンな作業環境を提供します。全体的に、ENM G27-55AGCは優れた費用対効果と信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、高い精度と再現性を実現しながら、最大限の表面均一性を提供します。超精密表面状態のモニタリングと基板の表面均一性の厳格化が必要な企業に最適です。