中古 ENGIS THG-170 #9185382 を販売中

ENGIS THG-170は、加工精度に優れ、最大170mmまでの大型ウェーハ径に対応できる独自の精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ENGIS Superabrasives製のこのシステムは、自動化された操作と手動操作の両方に正確で欠陥のないサーフェスを提供します。THG-170装置はダイヤモンドの粉砕車輪と合い、平らな、整流された、および踏まれたアルミナ、水晶および炭化ケイ素のウエファーを処理できます。テープ接着剤除去のような追加の準備と仕上げは、吸収パッド洗浄ステーションのようなオプションを通じてENGIS THG-170で行うことができます。THG-170は、効率を高めるための堅牢な構造設計を備えており、最も厳しい生産環境に最適です。フローティング・デュアル圧力プラテンにより、研削時の基板歪みを低減し、精密バランスの取れた研削砥石により、プロセスの精度と再現性を保証します。独立したXY-Axisトランスデューサを使用すると、ウェーハ表面の正確な位置を正確にトレースできます。内蔵のエアーベアリングスピンドルは、優れた研削精度と内蔵のダイナミックバランシングを提供します。ENGIS THG-170のデジタルコントロールは、プロセスパラメータとオペレータ調整可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨プログラムへの容易なアクセスを可能にします。また、このマシンは、プロセスの再現性と追跡機能を内蔵した連続大量生産に特に適しています。余分なプロセス制御のためにTHG-170はウェーハの厚さを追跡し、粉砕プロセスの精密な制御を保つ洗練されたフィードバックシステムを含んでいます。全体として、ENGIS THG-170ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールは、最も要求の厳しい生産作業のための汎用性と信頼性の高いソリューションです。堅牢な構造、正確な研削とラッピング機能、包括的な制御システムにより、THG-170はオペレータのエラーを最小限に抑えた高効率で高品質なプロセスを提供します。