中古 ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll #9208850 を販売中
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ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSllは、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。超精密ウエハの超平面研削、ラッピング、研磨作業に効率的かつ正確なソリューションを提供するように設計されています。このシステムは、すべてのマシンセクションを単一の剛体ボディに組み込んだモノブロック設計で、優れた精度と高精度を実現しています。特許取得済みのルーピングステンレススチールフレームと、デジタル制御のステッピングモータによって駆動される高速精密伝送ユニットが含まれています。フレームは、ダイナミック研削および研磨用途に優れた位置決め精度を提供するレーザーグレードのクロスローラーガイド方法でサポートされています。ヘッドストックとテールストックを内蔵しているため、片面研削、ラッピング、研磨の効率的なプロセスが可能です。また、5mmから65mmの研削砥石2個、25mmから495mmのラッピングホイール2個、200mmのラッピング研磨アーム1個、それぞれ専用の作業プラットフォームを備えています。ホイールとアームは、さまざまな用途に合わせて0.1µm間隔で正確に調整できます。また、レーザー干渉計を使用してウェーハプロファイルをリアルタイムで測定する高精度の測定ツールを搭載しています。これは、研削および研磨プロセスと統合されており、ウェハの性能に対する正確なフィードバックを提供し、最適な精度と精度を保証します。その他の機能としては、高速搬送アセット、自動積み下ろしシステム、緊急事態を防ぐための高度な自動保護システム、便利な操作を可能にするユーザーフレンドリーなHMIなどがあります。全体として、EJW-460SFN-ARSllはウエハーの超精密平面研削、ラッピングおよび研磨のための効果的で信頼性の高いモデルです。速く、正確な応答、高性能および精密な測定装置によって、それは優秀な結果を毎回提供できます。
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