中古 ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4AL #9208902 を販売中

ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4ALウェーハ研削、ラッピング&ポリッシング装置は、あらゆるタイプの半導体およびMEMSウェーハで優れた表面仕上げと平坦性を実現するように設計された、全自動、高性能システムです。このユニットには4つのプログラム可能な研磨/研磨ヘッドが装備されており、それぞれ16種類の研磨/研磨操作が可能で、合計64の組み合わせが可能です。また、2つのラッピング位置を備えており、ウェーハ表面の優れた仕上がりを高速で実現します。EJW-1200EFN-4ALは、プログラミング、モニタリング、トラブルシューティングのための直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、さまざまなインターフェイスを介してタッチスクリーン制御アセットを使用して、クリーンなユーザーインターフェイスと、既存のプロセスを直感的に編集したり、新しいプロセスを設定したりする機能の両方を提供します。また、安全扉インターロック装置や温度・湿度センサーなど、さまざまな安全機能を搭載しています。さらに、このシステムは、さまざまな標準的なGR-およびMQベースのワークホルダーおよびロードスライドとの互換性を確保するためにテストされています。このユニットは、車両の動きのための線形駆動往復運動、ならびに研削およびラッピングステージの両方に最大512のプログラム可能な位置および/または設定を提供することができる線形駆動インデックス機構を利用しています。厚さ20ミクロンのウエハーを研削・ラッピングすることが可能で、全径25mm〜300mmまで対応しています。このツールはまた、任意のジョブ時間、エンドポイント、完了したジョブの数、合計グレーティング、合計再グライニング、およびその他のさまざまなパラメータのデータを測定する機能を含む、さまざまな品質保証パラメータを提供します。アセットはISO9001:2015に準拠するように設計されており、認定された交換部品が利用可能です。表面仕上げ研磨、1/4ピッチおよび1/2ピッチ角度研削、反転角度研削、トラックブレンドなど、さまざまな加工が可能です。