中古 ENGIS FL-24V #9259337 を販売中

ENGIS FL-24Vウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、生産ソリューションと研究開発アプリケーション向けに設計された完全自動化システムです。このユニットは、直径200mmまでのウェーハと6 「x 6」までの基板の両方に平らで一貫した表面を生成することができます。機械は2つのプロセス区域、主要な粉砕区域および別の磨く区域と形成されます。研削面積は、最大10,000rpmの周波数を持つ24Vdcスピンドルモータを備えています。これにより、ウェーハの精密研削とコンディショニングの両方が可能になります。コンディショニングプロセスは、マイナーな表面非均一性を除去します。研削工程の後、ウエハは研磨領域で処理されます。また、研磨面積は3,000rpmまでの周波数を持つ24Vdcモータを使用して、高精度で一貫した研磨プロセスを保証します。一貫した表面仕上げを実現するために、このツールは小さな傷を検出できるタッチセンシティブスタイラスモジュールで構成されています。さらに、デジタル顕微鏡をアセットに組み込んで表面仕上げを測定します。この顕微鏡はユーザーに表面のモニターのイメージを提供し、必要ならば是正措置を取ることを可能にします。FL-24Vモデルの統合設計の一環として、研削および研磨プロセス全体が自動化され、ユーザーが設定したパラメータに応じて開始および停止するようにプログラムすることができます。これにより、手動プロセスに関連する推測が不要になり、再現性が確保されます。さらに、ウェーハや基板のサスペンドに使用されるエアフローテーションテーブルを搭載し、安定した研磨・研磨が可能です。これは、最終製品の品質が異なるバッチ間で一貫していることを保証するのに役立ちます。ENGIS FL-24Vウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、生産およびR&Dアプリケーション向けの信頼性の高い高度なソリューションです。このユニットの統合設計により、ユーザーは、手動プロセスに関連する推測を排除しながら、一貫した正確な表面仕上げを実現します。