中古 ENGIS EKW-4601FN-3AL #9237930 を販売中

ENGIS EKW-4601FN-3ALは精密、オールインワンウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。幅広いアプリケーションのニーズに対応するように設計されたEKW-4601FN-3ALは、優れたウェーハ処理の一貫性と精度のために設計されています。研削、ラッピング、研磨作業を1つの完全自動化されたプロセスに組み合わせることで、あらゆるステップを正確に制御できます。このシステムは、カスタマイズ可能な研削パターンとスループットを最大化するための制御パラメータで完全にプログラム可能なさまざまなヘッドとデバイスを備えています。さらに、それはより高い効率のための独特なクリーニングのプロシージャが付いている多チャネルのウォータージェットのクリーニングの単位を含んでいます。ENGIS EKW-4601FN-3ALは、簡単なセットアップと操作のためのグラフィカルLCDコントローラとユーザーフレンドリーなインターフェイスを持っています。8インチのTスロットベッドプレートは、ウェーハとスピンドルの最適化された再現可能な位置決めのための調整可能な作業高さを備えており、最高の精度を提供します。精密スピンドルは、プロセス全体にわたって最大0。5 μ nmの分解能で動的研削、ラッピング、研磨を可能にします。この機械はまた、研削および研磨プロセスに適した温度を維持するために、気流の再循環と温度管理を備えています。気流の再循環は、処理中にウェーハを涼しく保つのに役立ち、一貫した表面仕上げと歪みを防ぎます。EKW-4601FN-3ALには、小型ウェーハを簡単に製造するための高度な自動振動ダイシングユニットも含まれていますが、同時にエッジの完全性を維持し、破損、チッピング、デラミネーションを排除します。最後に、ENGIS EKW-4601FN-3ALは、非接触コンポーネント、ベアリングレス構造、および高度な自動潤滑ツールを備えた簡単なメンテナンスのために設計されています。優れた設計、最高の精度と再現性、スムーズな操作とメンテナンスにより、EKW-4601FN-3ALは精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨を次のレベルに引き上げます。