中古 ENGIS EJW-910T-4AL #9388514 を販売中
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ENGIS EJW-910T-4ALは、シングルサイドラッピング、研磨、バックサイドメトロロジーからダブルサイドグラインド、ラッピング、研磨までのプロセスを可能にするように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。システムは完全にプログラム可能であり、圧力、速度、速度変化間隔などのパラメータを特定のプロセス要件に従って調整することができます。最大厚さ25mm(二重研磨ユニット20mm)で、直径910mmまでの部品をサポートできます。このマシンは、精密加工されたデュアルプラネタリーヘッドと組み合わされた先進的なドライブモータを備えており、量産において正確で反復可能な結果を提供します。また、タッチスクリーン技術と完全に統合され、ナビゲートが容易な自動フィードインデックスを組み込んだ直感的な操作ツールを備えています。高度な制御のために、アセットはプロセス監視のためのオプションの範囲を提供します。プロセスパラメータはリアルタイムで監視し、後処理のレビューのために記録することができます。さらに、このモデルには、より高い研削力とヘッド速度を使用してスループットを最適化し、堅牢性を処理するためのさまざまな先進技術が含まれています。統合された真空/スタティックジェットダスト抽出は、空中粒子を減らし、粉砕、ラッピング、研磨ダストを含むのに役立ちます。この装置には、ラッピング/ポリッシュプロセス中の熱の蓄積を最小限に抑えるのに役立つ冷水プラントが内蔵されています。インラインメトロロジー、表面テクスチャ測定、ブレード曲率解析、ひずみゲージセンサ、プロセス再現性検証、部品平坦度、波長測定などの品質管理テストなど、高度な製造、測定、データ取得機能を備えています。全体として、EJW-910T-4ALは高度なウエハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、ウエハの生産環境において、高度なウエハ加工と最高レベルの生産スループット、品質、再現性を実現します。機械は容易な操作および最高のconfigurabilityのために設計されています、あらゆる適用に会うのに必要な柔軟性を提供します。
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