中古 ENGIS EJW-460SFN #9143438 を販売中

ENGIS EJW-460SFNは、半導体、フォトニクス、光学などのさまざまな業界で超精密部品を製造および製造するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EJW-460SFNは、1台のマシンでウェーハ研削、ラッピング、研磨操作を実行する能力を備えた多機能で汎用性の高いシステムであり、優れたユーザーの利便性と効率を提供します。ENGIS EJW-460SFNユニットは、10。4 インチTFTタッチスクリーンで動作するユーザーフレンドリーなグラフィカルソフトウェアインターフェイスを備えています。これにより、ウェーハ研削、ラッピング、研磨操作を簡単にナビゲーションおよびプログラミングできます。さらに、不揮発性メモリは、停電時にデータセキュリティを強化し、迅速なリカバリを可能にします。EJW-460SFN機械は200mmの直径のテーブルの正弦ドレッシングユニットが装備されています、大きい300mmのウエハの粉砕そして磨くことのためのサポートを提供します。複数のウェーハ研削スピンドルを使用して、複数のウェーハを並列およびバッチモードで処理することができます。ウェーハ研削スピンドルは、研削と研磨パッドと組み合わせて動作し、0.2µm Raの最小表面粗さでウェーハを仕上げるように設計されています。このツールには、オートフォーカスやワークセンサーなどのフルセットのセンサーが装備されており、高精度で一貫した結果を保証します。このアセットには、ウェーハ間のサイクル時間を短縮するための高速ラッピングディスクも含まれています。2段階の水冷モデルにより、ENGIS EJW-460SFNは安定した効率的な表面仕上げを提供することができます。最後に、EJW-460SFNの人間工学的設計はまた快適なコントロールパネルおよびFOUPの多用性がある部品によるオペレータ疲労を減らします。フットプリントが小さく安全性が強化されているため、ウエハ研削、ラッピング、研磨用途に最適です。