中古 ENGIS EJW-400IFN #9213789 を販売中
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ID: 9213789
ヴィンテージ: 2006
Single side lapping system
Includes:
Facing unit
Spraying unit
Magnet stirrer
Copper / Tin plate
2006 vintage.
ENGIS EJW-400IFNウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、効率的で経済的で信頼性の高い方法で、幅広いウェーハを正確に研削、ラップ、研磨するために設計されています。このシステムは、高速スピンドル、ループレスコンベア、自動インフィーダ/アウトフィーダハンドリングユニット、リフターと2段真空機を備えたシングルプラテンまたはデュアルプラテン、自動ポリッシングヘッドのいずれかを選択できます。EJW-400-IFNは、高周波アプリケーションを処理する際に最大60,000 rpmを提供する主要な研削作業用のヘビーデューティスピンドルを備えています。このスピンドルは、400N以上の最大切削力を発揮する高トルクモータによって駆動され、ウェットおよびドライグラインドの両方の用途に使用できます。さらに、粉末や冷却剤を粉砕面から遠ざける高効率の真空工具を搭載し、正確な研削結果を得ることができます。ループレスコンベアはウェーハの信頼性の高い供給とアンロードを可能にし、各ウェーハは搬送ローラーによって送り側と送り側の両方で駆動されます。このアセットは、複数のウェーハを同時に処理する場合でも正確な研削結果を達成するのに役立つ、個別に調整可能な速度設定を提供します。さらに、コンベアには、緊急停止スイッチ、リミットスイッチ、およびユーザーの安全のための調整可能なベルトテンショナーが装備されています。EJW-400IFNはまた、パラレルおよびテーパーのグランドウエハの両方に使用できるシングルプラテンまたはデュアルプラテン研削モデルのいずれかを選択できます。この機器は、プログラム可能なインフィード/アウトフィード位置、ストロークおよびスピンドル動作設定を備えており、将来のオートメーションオプションのために拡張可能です。このマシンはまた、研磨プロセス中にウェーハを微調整するためのトッププラットフォームにリフターを備えた調節可能な研磨ヘッドを備えています。このシステムは、高精度と高速の両方のアプリケーションに使用する場合に有効であるように設計されています。ラッピングステーションには、吸引機能と吹き出し機能を兼ね備えたデュアル真空ユニットが装備されており、制御された放電時間に簡単に調整できます。ENGIS EJW-400IFNには、自動給紙機能を備えたヘビーデューティスライディングテーブルとウェーハホルダーを装備し、ウェーハの安全な取り扱いを確保しています。また、インフィード/アウトフィード位置の自動補正機能を搭載し、複数のウエハを一度に研磨する際の精度を高めています。このツールは、大規模なウェーハを効率的に処理するように設計されており、研削および研磨プロセスの重要な段階でのハングアップや停電を防止する自己診断アセットを備えています。
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