中古 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9224525 を販売中
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ID: 9224525
ヴィンテージ: 2008
Single side lapping system
(4) Cylinder heads
Copper surfacing plate
Cover
(2) Wafer sticking devices
1200EFN Chiller
1200 facing device
2008 vintage.
ENGIS EJW-1200EFN-4ALは、要求の厳しい生産アプリケーション向けに設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大1500個のウェーハを1本の通路で研削することができ、1時間あたり最大500個のウェーハを処理することができます。このユニットには、200、300、350、500 mmなど、同じサイズまたは異なるサイズのウェーハを精密に処理できる4つの交換可能なスピンドルがあります。各スピンドルは+/-0。001mmの保持許容を達成することができ、結果のより大きい正確さそして再現性のための閉鎖ループサーボモーターを特色にします。4つのモジュラーおよび再循環の部屋は速いセットアップおよび転換時間を可能にし、特許を取られた連続的な平らなライン処理システムは均一な平坦を保障します。高性能、低振動の設計は非常に静かな機械のために作り、斜めのノズルのジェット機は優秀なウエハの端の保護を与えます。モジュラーおよび再循環の部屋はまた蝶番を付けられたふたおよび頑丈な真空の送風機との容易な維持を可能にします。このユニットは、使いやすさと高度な機能のための大きな色のタッチスクリーンディスプレイと高性能、高度なプロセスコントローラを備えています。リアルタイムプロセスと位置制御が可能なデータ収集機を備えており、結果は同じディスプレイウィンドウにグラフィカルに表示されます。さらに、コントローラはリモート診断とトラブルシューティング、およびリモートプロセスセットポイントとモーターパラメータを可能にします。このツールは耐久性の高いステンレスフレームに収納されており、高温プロセスによる腐食や摩耗に対する優れた保護を提供します。統合された上部冷却アセットにより、加工面が効果的に消滅し、モデルの寿命が延びます。EJW-1200EFN-4ALは、広範囲の中径ウェーハから大径ウェーハを大量に加工し、最高品質の結果を得るのに理想的な選択肢です。
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