中古 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9156523 を販売中

ENGIS EJW-1200EFN-4ALは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業用に設計されたユニークで最先端の機器です。このシステムは、優れた品質と柔軟性を維持しながら、高いスループットと精度を提供するために設計されています。EJW-1200EFN-4ALは主に、大容量ウェハの両面処理用に4つのアンテナを備えた研削/ラッピング機構で構成されています。アンテナは放射状に調整可能なカンチレバーアームに取り付けられ、より高い線形速度とより均一なウェーハ表面仕上げを可能にします。各アンテナは、遮音キャビネットに囲まれたラックマウント可能なフレームに固定されており、プロセスノイズを低減し、一貫した仕上がりを促進します。ユニットは、研削/ラッピング/研磨要件のさまざまなに合わせて調整することができます。例えば、角度研削/ラッピング、ウェーハ表面の粉砕、エッジバリ取りなどに設定できます。また、ENGIS EJW-1200EFN-4ALは、最大9つのヘビーデューティウェハカセットを保持することができる空気圧チャックを備えています。これにより、1時間あたり最大800個のウェーハのデュアルまたは片面プロセスが可能になります。このマシンのオートメーションには、ループカウント、位置決め、速度調整などのプロセスパラメータを監視するために使用されるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えたPCベースの制御ステーションが搭載されています。さらに、EJW-1200EFN-4ALツールは、ダストフィルタリング、N2ブローオフ、低温冷却などの環境制御システムと組み合わせることで、プロセス中にすべての不純物が除去されるようにすることができます。結論として、ENGIS EJW-1200EFN-4ALは、大量生産の厳しさに耐えるように設計された革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。高精度、信頼性、幅広いプロセスオプションを提供し、さまざまなウェーハ製造アプリケーションに最適です。