中古 ENGIS EJ-380IN #293765846 を販売中

ID: 293765846
ヴィンテージ: 2001
Lapping machine 2001 vintage.
ENGIS EJ-380INは、半導体ウェーハやその他の繊細な基板の精密加工用に設計された、高度で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この最先端の装置は、優れた性能、効率、表面仕上げプロセスの一貫性を提供するために設計されており、半導体製造および研究アプリケーションに不可欠なツールとなっています。EJ-380INシステムの中心には革新的な設計と堅牢な構造があり、最適な安定性、精度、およびウェーハ処理操作の再現性を確保するために組み合わされています。このユニットは、高品質の花崗岩ベースと精密なリニアモーションコンポーネントを備えており、研削、ラッピング、研磨段階でのウェーハキャリアの滑らかで正確な移動を可能にします。ENGIS EJ-380INマシンの重要な特徴の1つは、高度な制御とオートメーション機能であり、ユーザーはウェーハ処理シーケンス全体を正確かつ簡単にプログラムおよび監視できます。このツールには、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアが装備されており、オペレータは圧力、速度、時間、およびその他の重要な変数を含む、各処理ステップのカスタマイズされたパラメータを設定できます。EJ-380IN資産は、優れたウェーハ表面品質と平坦性を実現するために、さまざまな最先端技術を利用しています。研削ステージには、調整可能な速度と送り速度制御を備えた高精度スピンドルが組み込まれており、最適な材料除去と表面粗さ制御を保証します。ラッピングステージは、平坦で平坦なラッピングプレートと均一な研磨分布を備えており、超平坦で鏡面のようなウェーハ表面を実現しています。研磨工程には特殊な研磨パッドとスラリーモデルを採用し、下面ダメージを最小限に抑えた高品質な表面仕上げを実現しています。最先端の技術に加えて、ENGIS EJ-380IN装置は、プロセス制御と生産性を向上させるためのさまざまな高度な機能も提供しています。プロセスパラメータのリアルタイム監視、異常の自動検出と修正、ウェーハの効率的なバッチ処理のためのプログラム可能なレシピ管理などがあります。システムには、オペレータを保護し、信頼性と一貫した動作を確保するための組み込みの安全機能とセーフガードが装備されています。EJ-380INユニットの汎用性は、モジュール設計によってさらに強化されており、特定のアプリケーション要件を満たすために追加の処理モジュールとツールオプションを簡単にカスタマイズおよび統合できます。単一のウエハ加工や大量生産のいずれにおいても、幅広いウエハサイズ、材料、加工ニーズに対応できるように調整することができます。ENGIS EJ-380INウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールは、半導体ウェーハおよび先進基板の精密表面仕上げを実現する最先端のソリューションとして、全体的に際立っています。高度な機能、優れた性能、ユーザーフレンドリーな操作性を備えたこの資産は、ウェーハ加工技術に新たな基準を設定し、半導体業界に革命をもたらそうとしています。
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