中古 ENGIS EJ-380IN-BE15 #293775916 を販売中

ENGIS EJ-380IN-BE15は、半導体製造などの高精度加工を必要とする業界において、材料の精密除去、表面仕上げ、平坦制御用に設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この先進的なシステムは、革新的な技術と堅牢なエンジニアリングを組み合わせて、重要なウェーハ処理アプリケーションに一貫した反復可能な結果を提供します。EJ-380IN-BE15ユニットの中心には、高精度の研削、ラッピング、研磨プラットフォームがあり、シリコン、ガリウムヒ素、石英、サファイア、その他の半導体基板など、幅広いウエハ材料に多彩な加工能力を提供します。この機械は可変速度制御を備えたモーター式スピンドルを備えており、各アプリケーションの特定の要件に合わせた正確な材料除去速度と表面仕上げを可能にします。ENGIS EJ-380IN-BE15は、プログラム可能な制御ツールを搭載しており、複雑な処理シーケンスを簡単に定義および実行できます。レシピ管理、プロセス監視、データロギングなどの高度な自動化機能を提供し、再現可能な結果と最適なプロセス制御を保証します。さらに、このモデルは、リアルタイムフィードバックとクローズドループのプロセス最適化のための外部計測ツールとシームレスに統合できるように設計されています。研削能力の面では、EJ-380IN-BE15はウェーハ表面に均一な材料除去のための調整可能な傾きと回転速度を備えた高精度の回転テーブルを備えています。優れたエッジ保持性、低表面粗さ、およびサブ表面の損傷を最小限に抑えたタイトな厚さ制御を提供する高度な研削ホイールが装備されています。このシステムはまた、継続的なホイールコンディショニングと延長工具寿命のためのin-situドレッシング機能を提供します。ENGIS EJ-380IN-BE15は、ラッピングおよび研磨作業のために、精密フラットラッピングプレートと研磨パッドを使用して、サブミクロンの粗さ値を持つ超平面実現を実現しています。このユニットには革新的なスラリー配送システムと配送システムが組み込まれており、ラッピングおよび研磨プロセス中に一貫した研磨粒子分布と除去を保証します。さらに、機械は、材料の除去速度と表面品質を最適化するための自動圧力および速度制御機構を備えています。EJ-380IN-BE15は、さまざまなウェーハのサイズや形状に対応したカスタマイズ可能な構成で、ウェーハの高スループット処理用に設計されています。このツールは、バキュームチャック、キャリアリング、コンディショニングリングなどの複数のツーリングオプションを提供し、さまざまなウエハーマウントおよびハンドリング要件をサポートします。また、メンテナンスと保守性のための主要コンポーネントに簡単にアクセスできる人間工学に基づいた設計を採用しています。全体として、ENGIS EJ-380IN-BE15は、半導体業界やその他のハイテク分野で最も要求の厳しい要件を満たすために、先端技術、精密工学、およびユーザーフレンドリーな操作を組み合わせた、ウェーハ研削、ラッピング、および研磨アプリケーションのための最先端のソリューションを表しています。優れた性能、信頼性、柔軟性を備えたこのモデルは、ウェーハ処理の画期的な進歩を可能にし、次世代半導体デバイスの製造における革新を促進することを可能にします。