中古 ENGIS EJ-380 #9143445 を販売中

ENGIS EJ-380は、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、直径8インチまでの半導体ウェーハで優れた表面仕上げとウェーハの直線性を実現します。EJ-380は、独自の「Vibra-Jar」を使用して、水平運動と結合した回転プラテンに効果を与え、単一または複数のプラテン構成に適した滑らかで一貫した再現性のあるクロスモーションを生成します。ENGIS EJ-380は、ダイヤモンド研磨、研磨ラップ、圧力研磨を最小限の研磨交換で行う機能を備えています。自動化された制御システムにはデータベースパラメータストレージも含まれており、必要に応じてプロセス設定を保存およびリコールできます。EJ-380のスピンドルヘッドには、特許取得済みの半永久的なボンドダイヤモンドラップと連続ダイヤモンドドレスサイクルが組み込まれており、優れたワークの平坦性と均一性を確保します。インプロセスウエハストレートネス測定配置により、可能な限り最高の歩留まりを保証します。その他の機能としては、振動や過熱の異常が検出されたときにオペレータに通知するスピンドルヘッドのインプロセス監視機能や、部品の公差の問題による損傷を防ぐ自動停止機能などがあります。ENGIS EJ-380は、圧力、速度、オーバーラップ、ドウェル時間設定など、各ユニークなプロセスステップに対して完全なプログラム可能性を提供します。オペレータフレンドリーなコントロールインターフェイスは、魅力的なグラフィックスとタッチパッドコントロールを組み込んだ、すべてのシステムのための直感的でグラフィカルなメニュー駆動のインターフェースを備えています。EJ-380は、ウェーハの内側と外側の両方のエッジの部品パラメータを自動的に検出して格納するように設計されており、連続したウェーハ実行の各操作の正確な再現性を可能にします。ENGIS EJ-380は容易な維持のために設計され、オペレータの安全を保障する長い生命ポリウレタン摩耗の版および据え付け品が装備されています。Vibra-Jarはまた容易に用具か据え付け品なしで取り替えられます。EJ-380は、操作中にすべてのプロセス設定をすばやくリセットする機能を備えたオンボード診断機能を介して、あらゆる誤動作からさらに保護されます。ENGIS EJ-380の耐久性と信頼性の高い構造は、長寿命の動作と優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨性能を保証します。