中古 ENCO 9514506 #9221221 を販売中

ENCO 9514506は、半導体材料の効率的かつ精密な加工のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなどの半導体材料や、様々な特性のIII-V材料に適しています。このシステムは、両面加工を同時に行える2つの研削ホイールと、ウェーハ加工後の研磨用の2つの研磨ユニットで構成されています。研削ホイールには、材料特性と所望の表面品質に応じた研削工程のための0から1200 RPMまでの回転の可変速度調整用の統合モーターレギュレータが装備されています。ラッピングステーションには、ラッピングプロセス中にツーリングの水潤滑を改善するための自己給水脱イオン水槽が組み込まれています。このユニットは、粗さ、粗さの深さ、および表面品質値の均一性を高め、結果の最大精度と再現性を目的に設計されています。9514506マシンには、ラッピングプロセス中に処理された材料の清潔さを確保するためのサブミクロン濾過ユニットも含まれています。さらに、このツールには、ツールの欠陥や損傷を防止するための統合されたクーラントフィルトレーションアセットが含まれています。モデルレベルの監視、プロセス制御、記録機能など、さまざまな機能を備えた統合されたユーザーインターフェイスにより、プロセスの実行と結果の再現性が向上します。この機器には、ウェーハの自動インデックス作成機能も搭載されています。堅牢なフレームで構築され、システムは、最終結果の高性能と最大の精度と再現性のために設計されています。さらに、作業の継続性を向上させるための自動工具メンテナンス用に設計されています。